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半導體裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8788035

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近年來,用于高頻整流的開關(guān)二極管等半導體裝置被要求高速化。為了使二極管高速化而需要將半導體裝置內(nèi)的載流子壽命調(diào)整得較短,縮短電流的反向恢復時間,作為其辦法,公知以下的辦法等在半導體中使用輕離子照射、電子線照射等,并導入作為壽命抑制因素來發(fā)揮功能的結(jié)晶缺陷,縮短反向恢復時間?,F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1日本特開2010-109031號公報三墾電氣實用新型內(nèi)容但是,存在這樣的問題在導入結(jié)晶缺陷來縮短反向恢復時間的情況下,反向電流波形的上升坡度變得急劇,得不到...
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