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用于芯片高溫退火的插板式石英舟的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8807302

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石英材料具有良好的物理及化學(xué)穩(wěn)定性,普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體制造與加工行業(yè)中各種耐高溫、耐腐蝕器具的制造。高溫退火是半導(dǎo)體芯片經(jīng)離子注入工藝后消除注入損傷并電學(xué)激活雜質(zhì)的重要工藝步驟,特別是對(duì)于As摻雜p-on-n型HgCdTe紅外焦平面探測(cè)器件,無(wú)論是采用離子注入工藝,還是基于原位摻雜技術(shù),所獲得的As摻雜層都必須經(jīng)過(guò)Hg飽和蒸汽壓下的高溫退火激活才能轉(zhuǎn)變?yōu)镻型。As離子激活退火溫度一般為200?400°C,并在高壓Hg蒸汽中進(jìn)行。這就要求承載芯片的舟體采用耐高...
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