技術編號：8873819
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。微電子技術作為電子信息產(chǎn)業(yè)的核心技術之一，已經(jīng)成為現(xiàn)代電子信息技術，尤其是計算機和通訊技術發(fā)展的驅(qū)動力。為了在新的科技革命中迎頭趕上西方發(fā)達國家，必須在微電子取得快速的發(fā)展。涂覆光刻膠是微電子行業(yè)十分常用的工藝步驟。目前現(xiàn)有的涂膠設備要么結構簡陋，自動化程度低，工人勞動強度大；要么結構復雜，成本高昂，不利于推廣。此外，涂膠和烘干都需要在無塵室中進行，對工作場地的硬件要求較高，并且烘干時會有揮發(fā)物質(zhì)產(chǎn)生，可能對操作人員造成危害，需要即時的進行排放。發(fā)明內(nèi)容本...
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