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薄膜型二氧化錫氣敏元件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:88929

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本發(fā)明屬于敏感元件及其制造方法。本發(fā)明作出之前,為了預防氫氣、瓦斯、液化石油氣、城市煤氣、一氧化碳和乙烷等氣體引起的火災,爆炸及中毒事故,所使用的氣敏報警器中,采用克斯科(Kousuke Zhokura)在《傳感器技術(shù)及應用》(Sensoron-Technologie und Anuendury)1982年79期(312頁)上報導的燒結(jié)型氣敏元件。這種氣敏元件是把敏感材料如二氧化錫包裹在加熱絲上經(jīng)燒結(jié)制成的,其制造過程的再現(xiàn)性較差,導致了元件的互換性較差,其后張云昌等人在《傳感器論文集》第二冊(3...
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