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通過使用凝聚形成局域化的弛豫襯底的方法技術資料下載

技術編號:8906709

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本技術涉及用于制作多層襯底的局域化的弛豫和應變區(qū)域的方法和結構,并且本技術可以用于形成應變溝道FET。背景技術晶體管是現(xiàn)代數(shù)字處理器和存儲器設備的基本器件元件,并且已經在電子工程的各種領域中找到各種應用,包括數(shù)據(jù)處理、數(shù)據(jù)存儲和高功率應用。目前,存在可以用于不同應用的多種晶體管類型和設計。各種晶體管類型包括例如雙極結型晶體管(BJT)、結型場效應晶體管(JFET)、金屬氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)、垂直溝道或溝槽場效應晶體管和超結或多漏極晶體管...
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