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刻劃頭以及刻劃裝置的制造方法技術資料下載

技術編號:8932522

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以往,玻璃基板等脆性材料基板的切斷是通過在基板表面形成劃線的刻劃步驟、以及沿著所形成的劃線對基板表面施加特定的力的斷裂步驟而進行。在刻劃步驟中,使刻劃輪的刀尖一邊壓抵在基板表面,一邊沿著特定的線移動。為了形成劃線,使用具有刻劃頭的刻劃裝置??虅澭b置包含例如載置基板的平臺,使刻劃頭相對于載置在該平臺上的基板沿水平方向及上下方向移動。在刻劃頭的下端安裝著輪保持器,具有刀尖的刀輪以相對于該輪保持器自由旋轉的方式被保持(例如參照專利文獻I)。由外殼包圍輪保持器的升...
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