技術(shù)編號(hào):8947115
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。集成電路或微系統(tǒng)是用硅或任何其他半導(dǎo)體材料的晶片或基板制成的,晶片或基板經(jīng)歷沉積各種材料薄膜、對(duì)這些膜進(jìn)行掩膜和光刻、然后對(duì)這些相同的膜進(jìn)行蝕刻的一系列步驟。在這些制造步驟之間插入設(shè)備清潔步驟以及還有產(chǎn)品質(zhì)量檢查的步驟。在化學(xué)沉積中,在待被覆蓋的基板的表面處發(fā)生吸附、化學(xué)吸附或非均相反應(yīng)。在化學(xué)氣相沉積的情況下,該反應(yīng)發(fā)生在存在溫度條件、壓力條件和試劑濃度條件的所有基板上。結(jié)果是化學(xué)沉積物以形成在基板上的圖案的形式均勻地覆蓋表面,即使這些基板基本豎直。在最...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。