技術(shù)編號：9009626
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。真空陰極電弧鍍膜技術(shù)是硬質(zhì)涂層制造的主要技術(shù)，具有沉積速率高，涂層附著性好、涂層種類多樣等特性，但是一直以來，這種技術(shù)存在靶材利用率低，涂層表面粗糙等難以克服的缺陷。大量的研宄和應(yīng)用實踐證明，表面粗糙是由于電弧電流密度非常大，導致靶材過熱產(chǎn)生熔池，熔融的金屬以液滴的狀態(tài)飛濺出來并運動到涂層表面，形成了膜層粗糙的表面；而利用率過低是由于弧斑運動區(qū)域太過集中所致。如圖1所示，普通的電弧陰極采用永磁鐵I，磁場強度固定不變，磁場在革El材6表面的分布固定不變，永磁...
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