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技術(shù)編號：9068517

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修調(diào)是晶圓測試中非常常見的一個測試步驟，根據(jù)其工藝條件，常見可以分為激光修調(diào)、鋁條修調(diào)和poly修調(diào)，激光修調(diào)目前還不是主流，當(dāng)前主要采用鋁條修調(diào)和poly修調(diào)，通過采用施加電壓或電流的方式，利用熱能將其燒斷；目前在測試平臺中，如圖1所示，將保險絲直接接在電源端，其中第一電阻Rl和第三電阻R3為接觸電阻，電壓源VIN施加電壓或電流，使流過保險絲的熱能達到其恪點或擊穿點而使fuse斷開。由于每個保險絲都有接觸電阻，接觸電阻的阻值每次都會不同且有增大的可能；第...
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