技術(shù)編號(hào):9075121
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。CZ法直拉硅單晶是目前生產(chǎn)單晶硅應(yīng)用最廣泛的技術(shù),在直拉法工藝中將高純度的多晶硅裝進(jìn)石英坩禍內(nèi),由負(fù)載高頻波的環(huán)繞線圈或電流加熱器來(lái)加熱石英坩禍以使多晶硅熔化,然后把一特定晶向的硅單晶(稱(chēng)作籽晶)與熔融硅接觸,硅在合適的溫度下將順著已知晶向的籽晶上硅原子的排列結(jié)構(gòu)在固液交界面上形成規(guī)則的結(jié)晶,結(jié)合成單晶層,在結(jié)晶的同時(shí)將籽晶向上提升,當(dāng)籽晶體長(zhǎng)大至接近目標(biāo)直徑時(shí),改變提升速度,使單晶體等徑生長(zhǎng)。直至大部分硅溶液都結(jié)晶成硅晶錠,只剩少量剩料,通過(guò)調(diào)整晶體的提...
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