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技術(shù)編號：9082501

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TFT-1XD及半導(dǎo)體的顯影、清洗、蝕刻及蒸鍍等制程，經(jīng)常會(huì)使用到大量的有機(jī)化合物進(jìn)行涂布或清洗，這些有機(jī)化合物(如IPA/PGMEA/PGME等)大多會(huì)經(jīng)排氣裝置送到后端處理排放，且大致上會(huì)在合于法規(guī)規(guī)定的下排放，但仍有部分有機(jī)化合物會(huì)逸散在無塵室作業(yè)環(huán)境內(nèi)，其濃度約為數(shù)十至數(shù)百PPb左右，操作人員若長時(shí)間處在此低濃度有機(jī)廢氣的環(huán)境下，亦可能引發(fā)不適，特別是含有低閾值臭味有機(jī)化合物(如醋酸)；再者，無塵室的空調(diào)設(shè)計(jì)及過濾器的排列主要分為兩部分，一部份為外...
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