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一種用于極紫外輻照材料測(cè)試設(shè)備的抽真空系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9105385

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極紫外(Extreme ultrav1let,簡(jiǎn)寫(xiě)為EUV)光刻技術(shù)是繼193nm浸沒(méi)式光刻技術(shù)之后的下一代光刻機(jī)技術(shù),由于EUV輻射被幾乎所有物質(zhì)(包括空氣)強(qiáng)烈吸收,EUV光刻機(jī)系統(tǒng)必須置于真空環(huán)境中。EUV光刻機(jī)系統(tǒng)內(nèi)部各關(guān)鍵部件所用的材料需確保在EUV光輻射及真空環(huán)境下,不具有EUV輻照損傷的有害特性。而某些材料在EUV光輻射作用下會(huì)產(chǎn)生輻照損傷腐蝕。為了指導(dǎo)EUV光刻機(jī)整機(jī)及分系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程中的材料及工藝選擇,確保達(dá)到EUV光刻機(jī)的可靠性和使用壽命...
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