技術(shù)編號：91139
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體溫度傳感器領(lǐng)域。一般氧化物熱敏電阻阻值互換精度不超過2%，成品率在20%以內(nèi)。1981年日本冶金研究所的熱敏電阻產(chǎn)品介紹，硅熱敏電阻在30℃這一溫度點阻值互換精度為0.15%。但這些元件用在-30～+50℃溫區(qū)互換精度不超過1%。這給使用帶來不便，特別是對于測量和控溫儀表的標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)帶來極大困難。本發(fā)明的目的在于利用深能級雜質(zhì)金擴散至硅中形成高靈敏度、互換精度好的熱敏材料，并用這種材料做成在-30～+50℃溫區(qū)中，互換精度為0.2%的互換單晶熱敏電阻。本發(fā)明采用深能級雜質(zhì)金高溫擴散，在N-型硅中形成...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。