技術(shù)編號：9115154
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。通常單晶棒的頭部和尾部因晶體參數(shù)不合格或晶體存在缺陷等原因?qū)е虏荒苁褂?，從單晶棒上切下形成的頭尾料，這些頭尾料能夠重新用于硅單晶的生長。單晶硅頭尾料的直徑通常在5~8英寸，因此在裝入石英坩禍前需要把單晶硅頭尾料破碎。通常的破碎方法是在一個金屬容器內(nèi)或者在平臺上用金屬錘敲擊單晶硅頭尾料，使單晶硅頭尾料破碎。這種破碎方法的缺點是(1)在金屬錘敲擊過程中極易導致單晶硅頭尾料金屬沾污；(2)在敲擊力的作用下，單晶硅頭尾料會沿一定的解離面破裂，這樣破碎后的頭尾料邊沿...
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