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一種超大擺相力敏傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9123334

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力敏傳感器是使用很廣泛的一種傳感器。它是生產(chǎn)過程中自動(dòng)化檢測的重要部件,是檢測氣體、固體、液體等物質(zhì)間相互作用力的傳感器件,常用材料有半導(dǎo)體、金屬及合成材料等,按工作原理分為電阻應(yīng)變式力敏傳感器、電感式力敏傳感器、電容式力敏傳感器、諧振式力敏傳感器等。目前最常用的力敏傳感器是硅壓阻式力敏傳感器和電容式力敏傳感器;作為獲取信息的基礎(chǔ)元件,力敏傳感器的開發(fā)有很高的應(yīng)用和市場前景。但是現(xiàn)有公開技術(shù)文獻(xiàn)中的力敏傳感器周向移動(dòng)位移量很小,無法滿足使用要求的應(yīng)變片變形...
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