技術編號：9134564
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前，多數(shù)單晶硅生產(chǎn)廠家在單晶爐內(nèi)均安裝有冷卻裝置，再單晶爐內(nèi)安裝冷卻裝置的目的主要是用來增加爐內(nèi)的縱向溫度梯度，以利于提高生產(chǎn)效率。目前，現(xiàn)有的冷卻裝置的安裝通常是將單晶爐閥室與爐蓋之間拆開后，自上而下地安裝。然而對于部分尺寸較小的單晶爐系統(tǒng)來說，由于受單晶爐脖口尺寸的限制，使得小型單晶爐系統(tǒng)中無法加裝冷卻裝置。實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術問題是根據(jù)現(xiàn)有技術存在的上述不足，提供一種單晶爐系統(tǒng)，該單晶爐系統(tǒng)中的冷卻裝置的安裝方式不受單晶爐脖口的限制...
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