技術(shù)編號：9204163
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS器件存在于廣泛的各種不同的應(yīng)用程序中，諸如用于計(jì)算設(shè)備和通信設(shè)備的光學(xué)掃描器、汽車壓力傳感器和加速度計(jì)以及陀螺儀?；贛EMS的光學(xué)掃描器描述于例如美國專利7，952，781和美國專利申請公布2013/0207970中，其公開內(nèi)容以引用方式并入本文。用于監(jiān)控掃描鏡的操作的方法在本領(lǐng)域中是已知的。例如，其公開內(nèi)容以引用方式并入本文的美國專利申請公布2013/0250387描述了發(fā)射器和掃描鏡，該發(fā)射器被配置為發(fā)出包括光脈沖的光束，該掃描鏡被配置為掃描...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。