技術(shù)編號(hào)：9220845
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 多種制造處理都要求使用諸如酸、溶劑、堿、光致抗蝕劑、漿液、清洗制劑、摻雜劑、 無(wú)機(jī)物、有機(jī)物、金屬有機(jī)物和生物溶液、藥品、以及放射性化學(xué)制品的超純液體。此應(yīng)用要 求使在超純液體中的顆粒的數(shù)量與尺寸最小化。特別地，由于超純液體被用于微電子制造 處理的多個(gè)方面，因此半導(dǎo)體制造商已經(jīng)建立了用于處理化學(xué)制品與化學(xué)操作裝置的嚴(yán)格 的顆粒濃度規(guī)格。需要此規(guī)格，因?yàn)樵谥圃焯幚砥陂g使用的液體含有高等級(jí)的顆粒、氣泡、 金屬和其它少量污染物，顆粒、氣泡等可以沉積在硅的固體表...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。