技術編號：9221233
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。實施例涉及一種單晶體錠塊、一種用于生產(chǎn)該單晶體錠塊的設備和方法。背景技術圖1是示出了傳統(tǒng)單晶體錠塊生產(chǎn)設備的視圖。圖1示出的單晶體錠塊生產(chǎn)設備包括坩禍10、晶種30、熱罩42和44、加熱器50、線62和牽引馬達64。通過使用柴氏(Czochralski)法的娃單晶體生產(chǎn)方法，在;t甘禍10填充多晶娃后，由加熱器50加熱坩禍10以熔化多晶硅，這導致硅熔體20。接著，降低晶種30以接觸硅熔體20，并且然后通過使用牽引馬達64旋轉連接到晶種30的線62而向上牽引...
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