技術(shù)編號(hào)：9239695
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 印刷配線板的制造中，以光刻法形成銅配線圖案時(shí)，使用氯化鐵系蝕刻液、氯化銅 系蝕刻液、堿性蝕刻液等作為蝕刻液。使用這些蝕刻液有時(shí)會(huì)產(chǎn)生被稱為側(cè)邊蝕刻，即抗蝕 劑下的銅從配線圖案?jìng)?cè)面溶解的情形。即，原本以抗蝕劑保護(hù)而不希望在蝕刻去除的部分 (即銅配線部分）被蝕刻液去除，而產(chǎn)生所述銅配線的寬度從底部往頂部變細(xì)的現(xiàn)象。尤其 銅配線圖案微細(xì)時(shí)，必須盡可能減少這樣的側(cè)邊蝕刻。為了抑制所述側(cè)邊蝕刻，已提出一種 摻配唑化合物的蝕刻液（例如可參照下述專利文獻(xiàn)1)。 現(xiàn)有技...
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