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具有利用原子層沉積形成的集成計(jì)算元件的流體分析系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9264637

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集成計(jì)算元件(ICE)已用于進(jìn)行流體和復(fù)雜樣品的材料組成的光學(xué)分析。ICE可 通過(guò)提供一系列層來(lái)構(gòu)建,該些層具有被設(shè)計(jì)W在所需波長(zhǎng)下進(jìn)行建設(shè)性或破壞性干設(shè)的 厚度和反射率,從而??卺槍?duì)與光相互作用并提供允許預(yù)測(cè)化學(xué)或材料性質(zhì)的光學(xué)計(jì)算操 作的目的來(lái)提供編碼圖案。ICE的構(gòu)建方法類似于光干設(shè)濾波器的構(gòu)建方法。對(duì)于復(fù)合波 形,通過(guò)常規(guī)干設(shè)濾光器方式構(gòu)建的ICE可能需要極大量的層。除了制作復(fù)雜外,如此建造 的ICE可能無(wú)法在嚴(yán)酷環(huán)境中最優(yōu)工作。例如,具有極大量...
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