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等離子體氮化的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9291804

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諸如動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM)、邏輯裝置和類似的半導(dǎo)體裝置的縮放 (scaling)可能受限于柵極漏電流(Jg)。例如,當(dāng)縮放柵極介電層的厚度時(shí),溝道與晶體管 裝置的柵極之間可能造成漏電,導(dǎo)致裝置失效。將氮并入柵極介電層,可減少柵極漏電流。 例如,32nm節(jié)點(diǎn)處的柵極介電層可包括氮氧化硅(SiON),其中氮的存在減少裝置中的柵極 漏電流。 通常,利用等離子體氮化工藝將氮并入柵極介電層,等離子體氮化工藝可減少柵 極漏電流,但會(huì)犧牲其它期望的特性,例如平...
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