技術(shù)編號(hào)：9305544
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體器件用于各種電子應(yīng)用，諸如個(gè)人計(jì)算機(jī)、手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)和其他電子設(shè)備。通常通過處理半導(dǎo)體襯底來制造該半導(dǎo)體器件，例如，通過在半導(dǎo)體襯底上方順序沉積絕緣層或介電層、導(dǎo)電層和半導(dǎo)體材料層并且使用光刻或蝕刻(例如，濕蝕刻和/或干蝕亥IJ)圖案化各個(gè)材料層來在其上形成電路部件和元件。處理半導(dǎo)體襯底可包括通過蝕刻工藝在半導(dǎo)體襯底中形成凹部。蝕刻工藝可使得金屬殘留物形成在凹部的表面上(例如，側(cè)壁和/或底面)。例如，具有金屬殘留物的凹部隨后可通過濕清潔工藝進(jìn)行清潔。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。