技術(shù)編號(hào)：9305667
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。現(xiàn)有的半導(dǎo)體薄膜晶體管結(jié)構(gòu)中，其源極和漏極等電極若使用抗氧化性較差的金屬(例如銀合金)，則當(dāng)采用蝕刻方法對(duì)半導(dǎo)體層進(jìn)行圖案化時(shí)，蝕刻的氧離子往往會(huì)和電極的金屬進(jìn)行反應(yīng)，造成電極氧化，不但使得半導(dǎo)體層和金屬層之間的附著特性變差，而且由于氧化造成電極與半導(dǎo)體層之間的接觸電阻變高，使得元件特性變差。發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，本發(fā)明旨在提供一種可防止電極氧化的半導(dǎo)體薄膜晶體管及其制造方法以及具有該半導(dǎo)體薄膜晶體管的顯示裝置及其背板。為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，本發(fā)明實(shí)施例一方面...
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