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一種led制程中的背劃方法及其形成結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9305693

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發(fā)光二極管的切割技術(shù)由金剛石刀切割逐漸發(fā)展為普通激光切割,一般來(lái)說(shuō),激光的波長(zhǎng)為355nm或者266nm,其特點(diǎn)在于它既能劃開藍(lán)寶石襯底,也能劃開各種膜層,比如氮化鎵層,布拉格反射層、金屬層等。參看附圖1,近年來(lái)出現(xiàn)并得到快速發(fā)展的發(fā)光二極管切割技術(shù)為隱形激光切割,其特點(diǎn)在于它能穿透藍(lán)寶石襯底10,在藍(lán)寶石襯底10內(nèi)形成具有能量的爆點(diǎn)11,爆點(diǎn)11爆開而達(dá)到切割的目的。相較于普通激光切割或金剛石切割,它減少了晶片側(cè)面的激光灼傷面積或晶片表面的損傷面積,從而...
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