技術編號：9307119
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。超聲傳感器在醫(yī)療成像、無損檢測以及超聲顯微鏡等方面都有廣泛的應用。近年來，一種電容式超聲傳感器逐漸成為超聲換能器的主要研究方向之一。電容式超聲傳感器采用大規(guī)模集成電路的制作方法，易于與電子電路集成，適合制造二維面陣結構，可以批量制造，制造成本低。與壓電式超聲換能器相比，具有更低的機械阻抗，對溫度不敏感，因此具有更加廣泛的應用范圍。微型化、集成化、高分辨、低功耗、安全性高是電容式超聲傳感器的發(fā)展趨勢。但是，傳統(tǒng)電容式微加工超聲傳感器(CMUT器件)工作時需要...
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