技術(shù)編號：93079
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及采用能產(chǎn)生外來粒子物質(zhì)的光束加工工件的裝置。更確切地說，本發(fā)明與收集和清除在加工操作過程中作為不希望有的付產(chǎn)品而出現(xiàn)的粒子物質(zhì)的裝置有關(guān)。通常，使用一束光，例如激光束，的加工操作是在放有待加工工件的箱內(nèi)維持有保護性氣體氣氛中進行的。在加工箱中的保護性氣氛通常都維持于整個加工操作過程中，方法是通過把一種非活性或惰性氣體，例如氬氣，在箱的底部連續(xù)地引入箱內(nèi)，并當(dāng)新氣體進入時可使氣體從箱的頂部逃逸出去，從加工箱中逃逸的氣體可以進入一個壓力通風(fēng)系統(tǒng)并從此系統(tǒng)中排放出去。通過并從加工箱中射出的惰性氣體將攜帶在箱...
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