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一種混合鍵合金屬突出界面的處理方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9328683

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在超大規(guī)模集成電路發(fā)展日益接近物理極限的情況下,于物理尺寸和成本方面都具有優(yōu)勢(shì)的三維集成電路是延長(zhǎng)摩爾定律并解決先進(jìn)封裝問(wèn)題的有效途徑。而晶圓鍵合技術(shù)正是三維電路集成的關(guān)鍵技術(shù)之一,尤其是混合鍵合技術(shù)可以在兩片晶圓鍵合的同時(shí)實(shí)現(xiàn)數(shù)千個(gè)芯片的內(nèi)部互聯(lián),可以極大改善芯片性能并節(jié)約成本?;旌湘I合技術(shù)是指晶圓鍵合界面上同時(shí)存在金屬和絕緣物質(zhì)的鍵合方式。混合鍵合表面同時(shí)存在金屬和絕緣物質(zhì),制造出金屬突出或凹陷的鍵合界面可有效減低鍵合對(duì)表面平坦度的要求。但當(dāng)絕緣物質(zhì)比...
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