技術(shù)編號：9331084
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 微型揚聲器為小型聲換能器，并且一些微型揚聲器可以使用半導(dǎo)體技術(shù)制造，使 得微型揚聲器各個部分為半導(dǎo)體材料或者適合于面向半導(dǎo)體制造工藝的材料。微型揚聲器 通常需要產(chǎn)生高空氣容積排量，以獲得顯著聲壓級。 對于微型揚聲器的膜致動，存在幾個選擇。一些微型揚聲器器件利用壓電致動器 或者平行板式靜電致動器。另一個方法是使用在兩個平面中的靜電梳狀驅(qū)動結(jié)構(gòu)（即，梳 狀驅(qū)動結(jié)構(gòu)的第一部分設(shè)置于第一平面中，梳狀驅(qū)動結(jié)構(gòu)的第二部分設(shè)置于第二平面中） 來垂直于平面致動膜。 合適...
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