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鰭式場(chǎng)效應(yīng)管基體制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9351494

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隨著集成電路的發(fā)展,器件尺寸越來(lái)越小,集成度越來(lái)越高。而且,隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸由于器件尺寸越來(lái)越小而不斷減小,傳統(tǒng)的平面半導(dǎo)體制造技術(shù)已經(jīng)無(wú)法使用,目前鰭式場(chǎng)效應(yīng)管在小尺寸領(lǐng)域被廣發(fā)使用。在鰭式場(chǎng)效應(yīng)管結(jié)構(gòu)中柵極與溝道接觸面的決定了驅(qū)動(dòng)電流的大小,即接觸面積越大,驅(qū)動(dòng)電流越大。但是,目前的某些鰭式場(chǎng)效應(yīng)管的驅(qū)動(dòng)電流還沒(méi)有足夠大到能夠滿足大部分的應(yīng)用場(chǎng)合。由此,希望能夠提供一種能夠提高鰭式場(chǎng)效應(yīng)管器件的驅(qū)動(dòng)電流的制備方法。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題...
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