技術(shù)編號：9351548
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在集成電路(integrated circuit, IC)的制造中，密封環(huán)(也稱做防護環(huán)，sealring)的制做對于半導體工藝而言是重要的一環(huán)。半導體裝置(例如，IC)被制成芯片的形式，其由具有IC圖案形成于上的半導體晶圓切割而成。多個芯片通過切割半導體晶圓而形成。在切割工藝中，半導體芯片彼此分離，而機械應力(例如，振動)通常會施加于半導體基底/晶圓上。因此，當進行切割工藝時，會在芯片上造成龜裂。再者，半導體基底上形成有多個半導體組件。此時，在制做半導體...
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