技術(shù)編號：9378847
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。通過放電激發(fā)高速循環(huán)于環(huán)狀送風(fēng)路內(nèi)的混合氣體而產(chǎn)生激光的激光振蕩裝置廣泛普及。這樣的激光振蕩裝置被稱為氣體循環(huán)式激光振蕩裝置。在氣體循環(huán)式激光振蕩裝置中，組裝時混入送風(fēng)路內(nèi)的塵埃或微粒子、以及激發(fā)放電時石英制的放電管內(nèi)壁被削掉而產(chǎn)生的石英粉末等的異物與混合氣體一起循環(huán)于送風(fēng)路內(nèi)。而且，通過混合氣體放電激發(fā)時而產(chǎn)生的臭氧的氧化反應(yīng)也會生成多種氧化物。由于這些異物附著于部分反射鏡以及全反射鏡等的光學(xué)部件上會降低激光的輸出，所以需要光學(xué)部件的洗凈或更換。與此關(guān)聯(lián)...
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