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一種機械手臂及基板的轉(zhuǎn)運方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9389590

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隨著顯示領(lǐng)域技術(shù)的發(fā)展,人們對大尺寸顯示器的追求越來越高,超大尺寸已成為顯示器的發(fā)展趨勢,使得基板制備廠商研發(fā)也越發(fā)深入?;逶谥苽溥^程中需進行多次轉(zhuǎn)運,目前使用的用于基板轉(zhuǎn)運的機械手臂的結(jié)構(gòu)如圖1所示,機械手臂包括機械臂10,如圖2所示,當(dāng)機械手臂工作時,用機械臂10支撐基板20,但由于基板20的尺寸超大,在基板20轉(zhuǎn)運過程中受重力影響會造成基板20嚴重變形,發(fā)生下垂或翹曲,從而導(dǎo)致在進行對盒工藝之前由于基板20變形導(dǎo)致的應(yīng)力無法釋放,給顯示器帶來了諸多...
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