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3d nand堆疊式非易失性存儲器編程至導電狀態(tài)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9422882

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近來,已經(jīng)提出了使用有時被稱為位成本可擴展(BiCS)架構(gòu)的3D堆疊式存儲結(jié)構(gòu)的超高密度非易失性存儲設備。例如,3D NAND堆疊式存儲設備可以由交替的導電層和介電層的陣列形成。在這些層中可以鉆有存儲孔以同時限定很多存儲層。然后可以通過使用適當?shù)牟牧咸畛浯鎯讈硇纬蒒AND串。直的NAND串在一個存儲孔中延伸,而管狀或U形NAND串(P-BiCS)包括一對存儲單元的豎直列,所述豎直列在兩個存儲孔中延伸并且通過底部背柵而被接合。存儲單元的控制柵極由導電層提供...
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