技術(shù)編號：9438484
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種流量控制裝置用的流量控制閥的改良，是涉及如下所述的流量控制裝置用的流量控制閥通過實現(xiàn)構(gòu)成流量控制閥的壓電元件驅(qū)動式金屬隔膜控制閥的構(gòu)造的簡單化和小型化、組裝及維護(hù)檢修的容易化，能夠達(dá)到具備該流量控制閥的流量控制裝置、使用該流量控制裝置的半導(dǎo)體制造裝置用集成化氣體供給裝置等的進(jìn)一步地小型化。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造裝置等中使用的集成化氣體供給裝置一般如圖12所示，通過以下方式構(gòu)成使用設(shè)置有氣體流路的塊體54?58，將兩通開閉閥51A、51B、三通開...
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