技術(shù)編號(hào)：9443262
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。硅片清洗是太陽能電池板制造中最重要、最頻繁的的步驟之一。目前對(duì)硅片的清洗，以單片濕法化學(xué)清洗為主，其方法為使用卡盤機(jī)構(gòu)夾持硅片旋轉(zhuǎn)，同時(shí)使用不同的噴淋臂在硅片表面噴灑不同的清洗介質(zhì)，對(duì)硅片進(jìn)行清洗；同時(shí)，使用環(huán)狀的工藝腔體對(duì)清洗介質(zhì)進(jìn)行收集；最后，借助氮?dú)饣蛘咂渌橘|(zhì)甩干硅片。但是在清洗硅片時(shí)硅片周圍的氣流紊亂容易造成硅片的污染，影響硅片的質(zhì)量?，F(xiàn)有的離心清洗機(jī)旋轉(zhuǎn)噴頭均由電機(jī)驅(qū)動(dòng)噴桿旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)固定噴頭旋轉(zhuǎn)，高壓水經(jīng)旋轉(zhuǎn)的噴桿到達(dá)噴頭，再由噴嘴高速噴向附著物...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。