技術(shù)編號：9449403
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于干式真空栗，特別是涉及一種多腔渦旋式真空栗。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體、新材料及生物制藥等行業(yè)的飛速發(fā)展以及渦旋理論的不斷成熟，加之人們對真空環(huán)境清潔無油的迫切要求，日本和美國的技術(shù)人員率先將渦旋理論應(yīng)用于真空獲得設(shè)備上，并成功開發(fā)出了無油渦旋真空栗，且無油渦旋真空栗具有清潔無油、工作壓力范圍寬、性能可靠、轉(zhuǎn)矩變化小以及適應(yīng)惡劣運行條件能力強的特點。隨著研究的不斷深入，越來越多進行了結(jié)構(gòu)改進的無油渦旋真空栗被開發(fā)并應(yīng)用，以下為幾種比較典型的具有改進結(jié)構(gòu)的...
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