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靜電式速度傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9451306

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本發(fā)明涉及傳感器領(lǐng)域,特別涉及一種能自驅(qū)動(dòng)的測(cè)量直線性運(yùn)動(dòng)或者旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng) 的速度傳感器。背景技術(shù) 隨著電子技術(shù)的興起和工業(yè)生產(chǎn)的要求,開(kāi)發(fā)低能耗主動(dòng)式運(yùn)動(dòng)傳感器受到越來(lái) 越多的關(guān)注。傳統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)傳感器需要電能供給方能工作,例如機(jī)床控制,鼠標(biāo)等等,使傳感 器的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,并且應(yīng)用環(huán)境受到電能供給的限制。發(fā)明內(nèi)容 (一)要解決的技術(shù)問(wèn)題 速度傳感器是將機(jī)械運(yùn)動(dòng)與電信號(hào)耦合的電子器件。機(jī)械運(yùn)動(dòng)具有機(jī)械能,因此 可以利用這一能量設(shè)計(jì)出不依賴(lài)于外界供電而自主發(fā)生信號(hào)的傳...
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