技術(shù)編號：9472748
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在第III族氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件中所使用的藍(lán)寶石基底可以在其表面上具有精細(xì)浮凸結(jié)構(gòu)，以將由第III族氮化物半導(dǎo)體發(fā)光層發(fā)射的光有效地提取到外部。可以使用蝕刻技術(shù)來在藍(lán)寶石基底上形成精細(xì)浮凸結(jié)構(gòu)。使用干法蝕刻和濕法蝕刻作為蝕刻。例如，日本公開特許公報(kokai)第2008-177528號描述了一種用以在基底上形成浮凸結(jié)構(gòu)的技術(shù)，該技術(shù)通過使用氯基氣體或氟氣，并在形成被圖案化為在基底上的許多島(island)的形式的抗蝕劑掩模之后使用氬氣而實(shí)現(xiàn)(參照第21段...
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