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反向?qū)üβ拾雽w器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9472875

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本發(fā)明涉及功率半導體器件領域。它涉及如權(quán)利要求1所述的反向?qū)üβ拾雽w器件。背景技術(shù)反向?qū)ǚ聪驅(qū)℅CT (RC-GCT)將一個或多個門極換向晶閘管(GCT)和一個或多個二極管與單個功率半導體器件相結(jié)合。雙模門極換向晶閘管(BGCT)是RC-GCT,其在單個半導體晶圓中包括相互并聯(lián)電連接的多個門極換向晶閘管(GCT)區(qū)以及分布在GCT單元之間的多個二極管單元。二極管單元也相互并聯(lián)電連接并且并聯(lián)連接到GCT單元,但是以相反的正向。設置在半導體晶圓中的二極...
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