技術(shù)編號(hào):9493813
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上涉及硅中的擴(kuò)散工藝。本發(fā)明尤其適用于晶體硅太陽(yáng)能電池。熱擴(kuò)散通常用于在晶體硅太陽(yáng)能電池中形成PN結(jié)。在P型硅中,磷擴(kuò)散到體硅中以形成結(jié)。在N型硅中,硼擴(kuò)散到體硅中以形成結(jié)。熱擴(kuò)散的現(xiàn)有技術(shù)方法包括使用管式熔爐來(lái)提供驅(qū)動(dòng)摻雜劑原子進(jìn)入硅的晶格結(jié)構(gòu)中所需的熱量。在使用諸如用于磷擴(kuò)散的三氯氧磷或用于硼擴(kuò)散的三溴化硼等蒸汽源的擴(kuò)散加熱期間,可以將摻雜劑運(yùn)送到晶片。為了使用N型硅制造太陽(yáng)能電池,需要兩種高溫?cái)U(kuò)散工藝。在晶片的第一表面上執(zhí)行硼擴(kuò)散以產(chǎn)生電荷...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。