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用于太陽(yáng)能電池的直列式擴(kuò)散方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9493813

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本發(fā)明總體上涉及硅中的擴(kuò)散工藝。本發(fā)明尤其適用于晶體硅太陽(yáng)能電池。熱擴(kuò)散通常用于在晶體硅太陽(yáng)能電池中形成PN結(jié)。在P型硅中,磷擴(kuò)散到體硅中以形成結(jié)。在N型硅中,硼擴(kuò)散到體硅中以形成結(jié)。熱擴(kuò)散的現(xiàn)有技術(shù)方法包括使用管式熔爐來(lái)提供驅(qū)動(dòng)摻雜劑原子進(jìn)入硅的晶格結(jié)構(gòu)中所需的熱量。在使用諸如用于磷擴(kuò)散的三氯氧磷或用于硼擴(kuò)散的三溴化硼等蒸汽源的擴(kuò)散加熱期間,可以將摻雜劑運(yùn)送到晶片。為了使用N型硅制造太陽(yáng)能電池,需要兩種高溫?cái)U(kuò)散工藝。在晶片的第一表面上執(zhí)行硼擴(kuò)散以產(chǎn)生電荷...
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