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層疊體的剝離裝置和剝離方法及電子器件的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9516299

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本發(fā)明涉及。背景技術(shù)隨著顯示面板、太陽能電池、薄膜二次電池等電子器件的薄型化、輕型化,期望應(yīng)用于這些電子器件的玻璃板、樹脂板、金屬板等基板(第1基板)的薄板化。然而,若基板的厚度變薄,則基板的處理性惡化,因此,難以在基板的表面形成電子器件用的功能層(薄膜晶體管(TFTThin Film Transistor)和濾色器(CFColorFilter))。因此,提案有如下一種電子器件的制造方法在基板的背面上粘貼玻璃制的加強(qiáng)板(第2基板)從而構(gòu)成利用加強(qiáng)板加強(qiáng)基...
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