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一種反應(yīng)腔室的上蓋開(kāi)啟機(jī)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9525533

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半導(dǎo)體加工設(shè)備的反應(yīng)腔室用于對(duì)被加工工件進(jìn)行刻蝕、沉積等工藝,其主要包括腔體、上蓋和上蓋驅(qū)動(dòng)裝置,其中,上蓋與腔體之間一般設(shè)有密封圈,用于將二者密封,從而可以在反應(yīng)腔室內(nèi)形成真空的工藝環(huán)境;上蓋驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)上蓋開(kāi)啟或關(guān)閉,以便在外界與反應(yīng)腔室之間傳輸被加工工件,以及對(duì)反應(yīng)腔室內(nèi)部的器件進(jìn)行維護(hù)。圖1為現(xiàn)有的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示,反應(yīng)腔室包括腔體1、上蓋2、密封圈3和上蓋驅(qū)動(dòng)裝置。上蓋驅(qū)動(dòng)裝置包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)單元,每個(gè)驅(qū)動(dòng)單元包括導(dǎo)柱4、滑塊5、...
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