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基于引線框架的mems傳感器結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9525574

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許多傳統(tǒng)的換能器將隔膜偏轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換成與隔膜偏轉(zhuǎn)的大小成比例的電壓。這些換能系統(tǒng)的靈敏度經(jīng)常受以來自各種來源的電噪聲的形式的信號干擾的水平限制。在傳統(tǒng)的電容式麥克風(fēng)中,比如信號干擾的少數(shù)來源可以包含下面中的一個或多個在麥克風(fēng)殼體中的聲音入口開口的大??;穿過電容器間隙的空氣流動;轉(zhuǎn)換器電路系統(tǒng)的阻抗;以及麥克風(fēng)背容積的大小。發(fā)明內(nèi)容在各種實施例中,公開微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器結(jié)構(gòu)。MEMS傳感器結(jié)構(gòu)可以包含用于支撐MEMS傳感器的引線框架;在引線框架的表面中的...
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