技術(shù)編號：9538220
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本說明書總體上涉及MEMS器件，并且在一個示例中涉及校準(zhǔn)MEMS器件。發(fā)明內(nèi)容一種MEMS器件，包括具有內(nèi)部環(huán)境的空腔；將所述內(nèi)部環(huán)境與所述MEMS器件外的外部環(huán)境相隔離的密封，其中所述密封易于響應(yīng)于校準(zhǔn)解封能量而被損壞，并且在所述密封損壞時形成耦合所述內(nèi)部環(huán)境與所述外部環(huán)境的通路；以及，能夠在所述密封損壞之前和所述密封損壞之后測量所述內(nèi)部環(huán)境的校準(zhǔn)電路。。一種校準(zhǔn)MEMS器件的方法，包括用校準(zhǔn)解封能量損壞將所述MEMS器件內(nèi)的內(nèi)部環(huán)境與所述MEMS器件外...
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