技術(shù)編號：9540599
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 氧化銅錫（ITO)導(dǎo)電膜是指采用磁控瓣射的方法，在透明有機薄膜材料上瓣射 透明ITO導(dǎo)電薄膜鍛層并經(jīng)高溫退火處理得到的產(chǎn)品。 現(xiàn)有技術(shù)中，TIO蝕刻液的主要類型及相關(guān)專利如下CN201210206045. 5中公開 了一種W鹽酸和硝酸為主體的ITO蝕刻液，即王水系蝕刻液，該種蝕刻液的蝕刻反應(yīng)比較 劇烈，蝕刻過程難W精確把控，鹽酸和硝酸均具有揮發(fā)性，隨著蝕刻時間的延長，蝕刻液的 有效酸組分會發(fā)生變化，影響蝕刻過程的穩(wěn)定性；CN201010139056. 7...
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