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技術(shù)編號(hào)：9541588

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本發(fā)明涉及蝕刻液組合物，特別是涉及用于平板顯示器的柵極、源極和漏極所使 用的金屬層疊膜的蝕刻的蝕刻液組合物。背景技術(shù) -直以來(lái)，在平板顯示器（FPD)的領(lǐng)域中，作為薄膜晶體管（TFT)的溝道材料，大 型電視機(jī)用液晶面板（LCD)等采用非晶硅（a-Si)，小型高精細(xì)LCD和有機(jī)EL顯示器（0LED) 等采用低溫多晶硅（LTp-Si)。然而，近年來(lái)，在電子設(shè)備不斷小型化、輕量化和低耗電化的 過(guò)程中，作為溝道材料，研究了引入氧化物半導(dǎo)體來(lái)代替這些非晶硅和低溫多...
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