技術(shù)編號(hào)：9568322
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及真空栗，尤其涉及能夠在中真空至超高真空的壓力范圍內(nèi)利用的真空栗Ο背景技術(shù)在制造存儲(chǔ)器或集成電路等半導(dǎo)體裝置時(shí)，為了避免空氣中的塵土等所造成的影響，有必要在尚真空狀態(tài)的室內(nèi)對(duì)尚純度的半導(dǎo)體基板(晶圓)進(jìn)彳丁慘雜或蝕刻，在室內(nèi)的排氣中，例如，使用渦輪分子栗等真空栗。作為這樣的真空栗，已知如下的真空栗具備螺紋槽栗機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)由具有外筒轉(zhuǎn)子和內(nèi)筒轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)子、具有交替地定位在外筒轉(zhuǎn)子與內(nèi)筒轉(zhuǎn)子之間的外筒定子和內(nèi)筒定子的定子、以及在定子的與轉(zhuǎn)子對(duì)置的壁面雕刻...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。