技術(shù)編號(hào)：9572057
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及光學(xué)元件加工技術(shù)，具體涉及一種基于非線性建模的納米精度光學(xué)曲 面離子束加工方法。背景技術(shù) 隨著裝備性能需求的不斷提升，現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光學(xué)零件制造精度的要求越來越 苛刻，例如空間X射線光學(xué)元件和極紫外光刻物鏡，通常需要表面的面形精度達(dá)到納米甚 至亞納米精度，對(duì)光學(xué)制造技術(shù)提出了極大的挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)光學(xué)加工方法在加工精度和加工 效率等方面已經(jīng)無法滿足需求，由此需要發(fā)展新型的確定性光學(xué)加工技術(shù)。 離子束拋光技術(shù)利用離子濺射效應(yīng)對(duì)材料進(jìn)行去除，有納米/亞納...
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