技術(shù)編號(hào)：9589229
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。吸盤式機(jī)械手是機(jī)械加工和半導(dǎo)體晶圓片加工中常用的機(jī)械手之一，現(xiàn)有技術(shù)下的吸盤式機(jī)械手往往由于定位精度不夠而造成工件損壞，尤其是在進(jìn)行易碎材料的加工過程時(shí)，往往由于定位精度不夠，導(dǎo)致吸盤已經(jīng)與工件接觸時(shí)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)仍然在驅(qū)動(dòng)吸盤運(yùn)動(dòng)，造成對(duì)工件的壓力過大或沖擊過大，從而造成工件的損壞?，F(xiàn)有技術(shù)下為了避免工件的損壞，往往采用更高精度的傳感器對(duì)機(jī)械手進(jìn)行定位，但是，更高精度的傳感器也就意味著更高的價(jià)格，導(dǎo)致設(shè)備成本的提高。發(fā)明內(nèi)容針對(duì)上述問題，本發(fā)明提供一種吸盤式...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。